ఎయిర్ కండిషనింగ్ వ్యవస్థ యొక్క ద్వితీయ రిటర్న్ ఎయిర్ స్కీమ్ను స్వీకరించడానికి సాపేక్షంగా చిన్న శుభ్రమైన గది ప్రాంతం మరియు పరిమిత రిటర్న్ ఎయిర్ డక్ట్ వ్యాసార్థంతో కూడిన మైక్రో-ఎలక్ట్రానిక్ వర్క్షాప్ ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ పథకాన్ని సాధారణంగా ఇక్కడ కూడా ఉపయోగిస్తారుశుభ్రమైన గదులుఫార్మాస్యూటికల్స్ మరియు వైద్య సంరక్షణ వంటి ఇతర పరిశ్రమలలో. శుభ్రమైన గది ఉష్ణోగ్రత అవసరాలను తీర్చడానికి వెంటిలేషన్ వాల్యూమ్ సాధారణంగా శుభ్రత స్థాయికి చేరుకోవడానికి అవసరమైన వెంటిలేషన్ వాల్యూమ్ కంటే చాలా తక్కువగా ఉంటుంది కాబట్టి, సరఫరా గాలి మరియు తిరిగి వచ్చే గాలి మధ్య ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసం తక్కువగా ఉంటుంది. ప్రాథమిక రిటర్న్ ఎయిర్ స్కీమ్ ఉపయోగించినట్లయితే, సరఫరా గాలి స్థితి పాయింట్ మరియు ఎయిర్ కండిషనింగ్ యూనిట్ యొక్క మంచు బిందువు మధ్య ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసం పెద్దదిగా ఉంటే, ద్వితీయ తాపన అవసరం, ఫలితంగా గాలి చికిత్స ప్రక్రియలో చల్లని వేడి ఆఫ్సెట్ అవుతుంది మరియు ఎక్కువ శక్తి వినియోగం జరుగుతుంది. ద్వితీయ రిటర్న్ ఎయిర్ స్కీమ్ ఉపయోగించినట్లయితే, ద్వితీయ రిటర్న్ ఎయిర్ను ప్రాథమిక రిటర్న్ ఎయిర్ స్కీమ్ యొక్క ద్వితీయ తాపనను భర్తీ చేయడానికి ఉపయోగించవచ్చు. ప్రాథమిక మరియు ద్వితీయ రిటర్న్ ఎయిర్ నిష్పత్తి యొక్క సర్దుబాటు ద్వితీయ వేడి సర్దుబాటు కంటే కొంచెం తక్కువ సున్నితంగా ఉన్నప్పటికీ, ద్వితీయ రిటర్న్ ఎయిర్ స్కీమ్ చిన్న మరియు మధ్య తరహా మైక్రో-ఎలక్ట్రానిక్ క్లీన్ వర్క్షాప్లలో ఎయిర్ కండిషనింగ్ శక్తి పొదుపు చర్యగా విస్తృతంగా గుర్తించబడింది.
ఉదాహరణకు ISO క్లాస్ 6 మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ క్లీన్ వర్క్షాప్ను తీసుకోండి, 1 000 m2 క్లీన్ వర్క్షాప్ ప్రాంతం, పైకప్పు ఎత్తు 3 మీ. ఇంటీరియర్ డిజైన్ పారామితులు ఉష్ణోగ్రత tn= (23±1) ℃, సాపేక్ష ఆర్ద్రత φn=50%±5%; డిజైన్ ఎయిర్ సప్లై వాల్యూమ్ 171,000 m3/h, దాదాపు 57 h-1 ఎయిర్ ఎక్స్ఛేంజ్ సమయాలు, మరియు తాజా గాలి వాల్యూమ్ 25 500 m3/h (దీనిలో ప్రాసెస్ ఎగ్జాస్ట్ ఎయిర్ వాల్యూమ్ 21 000 m3/h, మరియు మిగిలినది పాజిటివ్ ప్రెజర్ లీకేజ్ ఎయిర్ వాల్యూమ్). క్లీన్ వర్క్షాప్లో సరైన ఉష్ణ భారం 258 kW (258 W/m2), ఎయిర్ కండిషనర్ యొక్క వేడి/తేమ నిష్పత్తి ε=35 000 kJ/kg, మరియు గది తిరిగి వచ్చే గాలి యొక్క ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసం 4.5 ℃. ఈ సమయంలో, ప్రాథమిక తిరిగి వచ్చే గాలి వాల్యూమ్
ఇది ప్రస్తుతం మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ క్లీన్ రూమ్లో అత్యంత సాధారణంగా ఉపయోగించే ప్యూరిఫికేషన్ ఎయిర్ కండిషనింగ్ సిస్టమ్, ఈ రకమైన వ్యవస్థను ప్రధానంగా మూడు రకాలుగా విభజించవచ్చు: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (డ్రై కాయిల్) +FFU. ప్రతి దాని ప్రయోజనాలు మరియు అప్రయోజనాలు మరియు తగిన ప్రదేశాలను కలిగి ఉంటుంది, శక్తి పొదుపు ప్రభావం ప్రధానంగా ఫిల్టర్ మరియు ఫ్యాన్ మరియు ఇతర పరికరాల పనితీరుపై ఆధారపడి ఉంటుంది.
1) AHU+FFU వ్యవస్థ.
ఈ రకమైన సిస్టమ్ మోడ్ను మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో "ఎయిర్ కండిషనింగ్ మరియు శుద్దీకరణ దశను వేరు చేసే మార్గం"గా ఉపయోగిస్తారు. రెండు పరిస్థితులు ఉండవచ్చు: ఒకటి ఎయిర్ కండిషనింగ్ సిస్టమ్ తాజా గాలితో మాత్రమే వ్యవహరిస్తుంది మరియు చికిత్స చేయబడిన తాజా గాలి శుభ్రమైన గది యొక్క అన్ని వేడి మరియు తేమ భారాన్ని భరిస్తుంది మరియు శుభ్రమైన గది యొక్క ఎగ్జాస్ట్ గాలి మరియు సానుకూల పీడన లీకేజీని సమతుల్యం చేయడానికి అనుబంధ గాలిగా పనిచేస్తుంది, ఈ వ్యవస్థను MAU+FFU వ్యవస్థ అని కూడా పిలుస్తారు; మరొకటి ఏమిటంటే, తాజా గాలి పరిమాణం మాత్రమే శుభ్రమైన గది యొక్క చల్లని మరియు వేడి భార అవసరాలను తీర్చడానికి సరిపోదు, లేదా తాజా గాలిని బహిరంగ స్థితి నుండి మంచు బిందువుకు ప్రాసెస్ చేయడం వలన అవసరమైన యంత్రం యొక్క నిర్దిష్ట ఎంథాల్పీ వ్యత్యాసం చాలా పెద్దది, మరియు ఇండోర్ గాలిలో కొంత భాగాన్ని (తిరిగి వచ్చే గాలికి సమానం) ఎయిర్ కండిషనింగ్ ట్రీట్మెంట్ యూనిట్కు తిరిగి పంపుతారు, వేడి మరియు తేమ చికిత్స కోసం తాజా గాలితో కలుపుతారు మరియు తరువాత గాలి సరఫరా ప్లీనమ్కు పంపుతారు. మిగిలిన శుభ్రమైన గది తిరిగి వచ్చే గాలితో (సెకండరీ రిటర్న్ గాలికి సమానం) కలిపి, అది FFU యూనిట్లోకి ప్రవేశించి, దానిని శుభ్రమైన గదిలోకి పంపుతుంది. 1992 నుండి 1994 వరకు, ఈ పత్రం యొక్క రెండవ రచయిత సింగపూర్ కంపెనీతో సహకరించారు మరియు 10 మందికి పైగా గ్రాడ్యుయేట్ విద్యార్థులను US-హాంకాంగ్ జాయింట్ వెంచర్ SAE ఎలక్ట్రానిక్స్ ఫ్యాక్టరీ రూపకల్పనలో పాల్గొనేలా నడిపించారు, ఇది తరువాతి రకమైన శుద్దీకరణ ఎయిర్ కండిషనింగ్ మరియు వెంటిలేషన్ వ్యవస్థను స్వీకరించింది. ఈ ప్రాజెక్ట్లో దాదాపు 6,000 m2 (దీనిలో 1,500 m2 జపాన్ అట్మాస్ఫియరిక్ ఏజెన్సీ ద్వారా ఒప్పందం కుదుర్చుకుంది) ISO క్లాస్ 5 క్లీన్ రూమ్ ఉంది. ఎయిర్ కండిషనింగ్ గది బాహ్య గోడ వెంట క్లీన్ రూమ్ వైపుకు సమాంతరంగా మరియు కారిడార్కు ఆనుకొని మాత్రమే అమర్చబడి ఉంటుంది. తాజా గాలి, ఎగ్జాస్ట్ గాలి మరియు తిరిగి వచ్చే గాలి పైపులు చిన్నవిగా మరియు సజావుగా అమర్చబడి ఉంటాయి.
2) MAU+AHU+FFU పథకం.
ఈ ద్రావణం సాధారణంగా బహుళ ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ అవసరాలు మరియు వేడి మరియు తేమ భారంలో పెద్ద తేడాలు కలిగిన మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ ప్లాంట్లలో కనిపిస్తుంది మరియు శుభ్రత స్థాయి కూడా ఎక్కువగా ఉంటుంది. వేసవిలో, తాజా గాలిని చల్లబరుస్తుంది మరియు స్థిర పారామితి బిందువుకు డీహ్యూమిడిఫై చేస్తారు. స్వచ్ఛమైన గాలిని ఐసోమెట్రిక్ ఎంథాల్పీ లైన్ యొక్క ఖండన బిందువుకు మరియు ప్రాతినిధ్య ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమతో కూడిన క్లీన్ రూమ్ యొక్క 95% సాపేక్ష ఆర్ద్రత రేఖకు లేదా అతిపెద్ద తాజా గాలి పరిమాణం కలిగిన క్లీన్ రూమ్కు చికిత్స చేయడం సాధారణంగా సముచితం. గాలిని తిరిగి నింపడానికి ప్రతి క్లీన్ రూమ్ అవసరాలకు అనుగుణంగా MAU యొక్క గాలి పరిమాణం నిర్ణయించబడుతుంది మరియు అవసరమైన తాజా గాలి పరిమాణం ప్రకారం పైపులతో ప్రతి క్లీన్ రూమ్ యొక్క AHUకి పంపిణీ చేయబడుతుంది మరియు వేడి మరియు తేమ చికిత్స కోసం కొంత ఇండోర్ రిటర్న్ ఎయిర్తో కలుపుతారు. ఈ యూనిట్ అన్ని వేడి మరియు తేమ భారాన్ని మరియు అది అందించే క్లీన్ రూమ్ యొక్క కొత్త రుమాటిజం లోడ్లో కొంత భాగాన్ని భరిస్తుంది. ప్రతి AHU ద్వారా చికిత్స చేయబడిన గాలిని ప్రతి క్లీన్ రూమ్లోని సరఫరా ఎయిర్ ప్లీనమ్కు పంపబడుతుంది మరియు ఇండోర్ రిటర్న్ ఎయిర్తో సెకండరీ మిక్సింగ్ తర్వాత, దానిని FFU యూనిట్ గదిలోకి పంపుతుంది.
MAU+AHU+FFU సొల్యూషన్ యొక్క ప్రధాన ప్రయోజనం ఏమిటంటే, శుభ్రత మరియు సానుకూల ఒత్తిడిని నిర్ధారించడంతో పాటు, ప్రతి క్లీన్ రూమ్ ప్రక్రియ ఉత్పత్తికి అవసరమైన వివిధ ఉష్ణోగ్రతలు మరియు సాపేక్ష ఆర్ద్రతను కూడా ఇది నిర్ధారిస్తుంది. అయితే, తరచుగా AHU ఏర్పాటు చేయబడిన సంఖ్య కారణంగా, గది ప్రాంతం పెద్దదిగా ఉంటుంది, క్లీన్ రూమ్ తాజా గాలి, తిరిగి వచ్చే గాలి, గాలి సరఫరా పైప్లైన్లు క్రాస్ క్రాస్గా ఉంటాయి, పెద్ద స్థలాన్ని ఆక్రమిస్తాయి, లేఅవుట్ మరింత సమస్యాత్మకంగా ఉంటుంది, నిర్వహణ మరియు నిర్వహణ మరింత కష్టం మరియు సంక్లిష్టంగా ఉంటుంది, కాబట్టి, వాడకాన్ని నివారించడానికి వీలైనంత వరకు ప్రత్యేక అవసరాలు లేవు.
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-26-2024