సెమీకండక్టర్ (FAB) శుభ్రమైన గదిలో సాపేక్ష ఆర్ద్రత యొక్క లక్ష్య విలువ సుమారు 30 నుండి 50% ఉంటుంది, ఇది లితోగ్రఫీ జోన్‌లో ±1% లోపం యొక్క ఇరుకైన మార్జిన్‌ను అనుమతిస్తుంది - లేదా చాలా అతినీలలోహిత ప్రాసెసింగ్ (DUV) జోన్‌లో ఇంకా తక్కువ - అయితే ఇతర చోట్ల దీనిని ±5%కి సడలించవచ్చు.
ఎందుకంటే సాపేక్ష ఆర్ద్రత శుభ్రమైన గదుల మొత్తం పనితీరును తగ్గించగల అనేక అంశాలను కలిగి ఉంటుంది, వాటిలో:
1. బాక్టీరియా పెరుగుదల;
2. సిబ్బందికి గది ఉష్ణోగ్రత సౌకర్యాల పరిధి;
3. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జ్ కనిపిస్తుంది;
4. లోహ తుప్పు;
5. నీటి ఆవిరి సంక్షేపణం;
6. లితోగ్రఫీ క్షీణత;
7. నీటి శోషణ.
బాక్టీరియా మరియు ఇతర జీవసంబంధమైన కలుషితాలు (అచ్చులు, వైరస్‌లు, శిలీంధ్రాలు, పురుగులు) 60% కంటే ఎక్కువ సాపేక్ష ఆర్ద్రత ఉన్న వాతావరణాలలో వృద్ధి చెందుతాయి. కొన్ని బాక్టీరియా సంఘాలు 30% కంటే ఎక్కువ సాపేక్ష ఆర్ద్రత వద్ద పెరుగుతాయి. తేమను 40% నుండి 60% పరిధిలో నియంత్రించాలని కంపెనీ విశ్వసిస్తుంది, ఇది బాక్టీరియా మరియు శ్వాసకోశ ఇన్ఫెక్షన్ల ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తుంది.
40% నుండి 60% వరకు సాపేక్ష ఆర్ద్రత కూడా మానవ సౌకర్యానికి ఒక మధ్యస్థ పరిధి. అధిక తేమ ప్రజలను ఉక్కిరిబిక్కిరి చేస్తుంది, 30% కంటే తక్కువ తేమ ప్రజలను పొడిబారడం, పగిలిన చర్మం, శ్వాసకోశ అసౌకర్యం మరియు భావోద్వేగ అసంతృప్తికి గురి చేస్తుంది.
అధిక తేమ వాస్తవానికి క్లీన్‌రూమ్ ఉపరితలంపై ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీల చేరడం తగ్గిస్తుంది - ఇది ఆశించిన ఫలితం. తక్కువ తేమ ఛార్జ్ చేరడానికి అనువైనది మరియు ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ ఉత్సర్గ యొక్క హానికరమైన మూలంగా ఉంటుంది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50% దాటినప్పుడు, ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీలు వేగంగా వెదజల్లడం ప్రారంభిస్తాయి, కానీ సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30% కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, అవి ఇన్సులేటర్ లేదా అన్‌గ్రౌండ్డ్ ఉపరితలంపై ఎక్కువ కాలం ఉంటాయి.
35% మరియు 40% మధ్య సాపేక్ష ఆర్ద్రతను సంతృప్తికరమైన రాజీగా ఉపయోగించవచ్చు మరియు సెమీకండక్టర్ క్లీన్ రూమ్‌లు సాధారణంగా ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీల చేరడం పరిమితం చేయడానికి అదనపు నియంత్రణలను ఉపయోగిస్తాయి.
సాపేక్ష ఆర్ద్రత పెరుగుదలతో తుప్పు ప్రక్రియలతో సహా అనేక రసాయన ప్రతిచర్యల వేగం పెరుగుతుంది. శుభ్రమైన గది చుట్టూ గాలికి గురయ్యే అన్ని ఉపరితలాలు త్వరగా చల్లబడతాయి.
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-15-2024
హొమ్ పేజ్
ఉత్పత్తులు
మమ్మల్ని సంప్రదించండి
వార్తలు