సెమీకండక్టర్ (FAB) శుభ్రమైన గదిలో సాపేక్ష ఆర్ద్రత యొక్క లక్ష్య విలువ సుమారుగా 30 నుండి 50% వరకు ఉంటుంది, ఇది లితోగ్రఫీ జోన్‌లో వంటి ±1% లోపం యొక్క ఇరుకైన మార్జిన్‌ను అనుమతిస్తుంది - లేదా చాలా తక్కువ అతినీలలోహిత ప్రాసెసింగ్‌లో (DUV) జోన్ - ఇతర చోట్ల అయితే అది ±5%కి సడలించబడుతుంది.
సాపేక్ష ఆర్ద్రత క్లీన్ రూమ్‌ల యొక్క మొత్తం పనితీరును తగ్గించగల కారకాల శ్రేణిని కలిగి ఉన్నందున:
1. బాక్టీరియా పెరుగుదల;
2. సిబ్బంది కోసం గది ఉష్ణోగ్రత సౌకర్యం పరిధి;
3. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జ్ కనిపిస్తుంది;
4. మెటల్ తుప్పు;
5. నీటి ఆవిరి సంక్షేపణం;
6. లితోగ్రఫీ యొక్క అధోకరణం;
7. నీటి శోషణ.
బాక్టీరియా మరియు ఇతర జీవ కలుషితాలు (అచ్చులు, వైరస్లు, శిలీంధ్రాలు, పురుగులు) 60% కంటే ఎక్కువ సాపేక్ష ఆర్ద్రతతో వాతావరణంలో వృద్ధి చెందుతాయి. కొన్ని బ్యాక్టీరియా సంఘాలు 30% కంటే ఎక్కువ సాపేక్ష ఆర్ద్రత వద్ద పెరుగుతాయి. తేమను 40% నుండి 60% వరకు నియంత్రించాలని కంపెనీ విశ్వసిస్తుంది, ఇది బ్యాక్టీరియా మరియు శ్వాసకోశ ఇన్ఫెక్షన్ల ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తుంది.
40% నుండి 60% వరకు ఉన్న సాపేక్ష ఆర్ద్రత కూడా మానవ సౌకర్యానికి మధ్యస్థ పరిధి. అధిక తేమ వల్ల ప్రజలు ఉబ్బిన అనుభూతిని కలిగి ఉంటారు, అయితే 30% కంటే తక్కువ తేమ ప్రజలు పొడిగా, పగిలిన చర్మం, శ్వాసకోశ అసౌకర్యం మరియు మానసిక అసంతృప్తిని కలిగిస్తుంది.
అధిక తేమ వాస్తవానికి క్లీన్‌రూమ్ ఉపరితలంపై ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీల సంచితాన్ని తగ్గిస్తుంది - ఆశించిన ఫలితం. తక్కువ తేమ ఛార్జ్ సంచితం మరియు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ డిశ్చార్జ్ యొక్క సంభావ్య హానికరమైన మూలానికి అనువైనది. సాపేక్ష ఆర్ద్రత 50% కంటే ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీలు వేగంగా వెదజల్లడం ప్రారంభిస్తాయి, అయితే సాపేక్ష ఆర్ద్రత 30% కంటే తక్కువగా ఉన్నప్పుడు, అవి ఇన్సులేటర్ లేదా భూమి లేని ఉపరితలంపై చాలా కాలం పాటు ఉంటాయి.
35% మరియు 40% మధ్య సాపేక్ష ఆర్ద్రత సంతృప్తికరమైన రాజీగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సెమీకండక్టర్ క్లీన్ రూమ్‌లు సాధారణంగా ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ ఛార్జీల సంచితాన్ని పరిమితం చేయడానికి అదనపు నియంత్రణలను ఉపయోగిస్తాయి.
సాపేక్ష ఆర్ద్రత పెరుగుదలతో తుప్పు ప్రక్రియలతో సహా అనేక రసాయన ప్రతిచర్యల వేగం పెరుగుతుంది. శుభ్రమైన గది చుట్టూ గాలికి బహిర్గతమయ్యే అన్ని ఉపరితలాలు త్వరగా ఉంటాయి.
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-15-2024
హోమ్
ఉత్పత్తులు
మమ్మల్ని సంప్రదించండి
వార్తలు